GB/T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric（ZDD）
资源信息
| 标准号 | GB/T 43894.1-2024 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2024-04-25 | 实施日期 | 2024-11-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 43894.1-2024标准名：半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）标准英文名：Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric（ZDD）批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040标准层级：GBT推荐性国家标准
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