T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/GVS 014-2024
标准名：半导体设备用低温泵评价规范
标准英文名：Evaluation specification for cryogenic vacuum pumps used in semiconductor equipment
团体名称：广东省真空学会
包含专利：否
中国标准分类号：J 78
国际标准分类号：23.160
行业分类：M745 质检技术服务
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。
主要技术内容：本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。
起草单位：中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司
起草人：胡湘娥、黎树中、李晓刚、叶俊文、王鹏程、胡勇、王楠茜、陈淑曲、余彦飞、肖永能、林涛、欧慧敏