GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
资源信息
| 标准号 | GB/T 34971-2017 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2017-11-01 | 实施日期 | 2018-02-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 34971-2017标准名：半导体制造用气体处理指南标准英文名：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.040.40标准层级：GBT推荐性国家标准
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