GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
资源信息
| 标准号 | GB/T 32814-2016 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2016-08-29 | 实施日期 | 2017-03-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 32814-2016标准名：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范标准英文名：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200标准层级：GBT推荐性国家标准
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