GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

资源信息

标准号 GB/T 26068-2018 标准状态 现行
发布日期 2018-12-28 实施日期 2019-11-01
发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 26068-2018
标准名:硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
标准英文名:Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:77.040
标准层级:GBT推荐性国家标准

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