GB/T 26067-2010 硅片切口尺寸测试方法

Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers

资源信息

标准号 GB/T 26067-2010 标准状态 现行
发布日期 2011-01-10 实施日期 2011-10-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 26067-2010
标准名：硅片切口尺寸测试方法
标准英文名：Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
标准层级：GBT推荐性国家标准

提示

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