GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment

资源信息

标准号 GB/T 40577-2021 标准状态 现行
发布日期 2021-10-11 实施日期 2022-05-01
发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 40577-2021
标准名：集成电路制造设备术语
标准英文名：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：L95
国际标准分类号：31.220
标准层级：GBT推荐性国家标准

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