GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
High purity copper alloy target for integrated circuit
资源信息
| 标准号 | GB/T 39159-2020 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2020-11-19 | 实施日期 | 2021-10-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 中国有色金属工业协会 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 39159-2020标准名：集成电路用高纯铜合金靶材标准英文名：High purity copper alloy target for integrated circuit批准发布部门：中国有色金属工业协会中国标准分类号：H62国际标准分类号：77.150.30标准层级：GBT推荐性国家标准
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