GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilane for silicon epitaxial
资源信息
| 标准号 | GB/T 30652-2023 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2023-08-06 | 实施日期 | 2024-03-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 30652-2023标准名：硅外延用三氯氢硅标准英文名：Trichlorosilane for silicon epitaxial批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045标准层级：GBT推荐性国家标准
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