GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique
资源信息
| 标准号 | GB/T 14142-2017 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2017-09-29 | 实施日期 | 2018-04-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 14142-2017标准名：硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法标准英文名：Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H25国际标准分类号：77.040标准层级：GBT推荐性国家标准
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