GB/T 26066-2010 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
practice for shallow etch pit detection on silicon
资源信息
| 标准号 | GB/T 26066-2010 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2011-01-10 | 实施日期 | 2011-10-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 26066-2010标准名：硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法标准英文名：practice for shallow etch pit detection on silicon批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045标准层级：GBT推荐性国家标准
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