T/ZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/ZZB 0648-2018
标准名：200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
标准英文名：200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers
团体名称：浙江省品牌建设联合会
包含专利：否
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
行业分类：C397 电子器件制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本标准规定了200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、金瑞泓科技（衢州）有限公司
起草人：许峰、朱华英、陈平人、田达晰、梁兴勃、刘红方、李方虎、李艳玲