GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

资源信息

标准号 GB/T 19921-2018 标准状态 现行
发布日期 2018-12-28 实施日期 2019-07-01
发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 19921-2018
标准名：硅抛光片表面颗粒测试方法
标准英文名：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
标准层级：GBT推荐性国家标准

提示

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