T/SDAMA 008-2025 碳化硅陶瓷晶舟

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/SDAMA 008-2025
标准名：碳化硅陶瓷晶舟
标准英文名：Silicon carbide ceramic wafer boat
团体名称：山东省新材料产业协会
包含专利：否
国际标准分类号：81.060.30 高级陶瓷
行业分类：C307 陶瓷制品制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。
起草单位：山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东圣诺实业有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、山东依莱特硅业有限公司、山东省新材料产业协会
起草人：王明峰、王东、石金旺、毕见强、周强、赵佳彬、高惠、李伟强、石威、尹东胜、龚红宇、王伟礼、孙国勋、韩桂芳、郝文虎、崔伟、李补忠、刘爱伟、王克、周健华、王改云