T/CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CCSAS 052-2025
标准名：三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范
标准英文名：Safety technical specifications for polysilicon production by trichlorosilane reduction method
团体名称：中国化学品安全协会
包含专利：否
国际标准分类号：13.100
行业分类：C261 基础化学原料制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多晶硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的企业可参照执行。
起草单位：中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都有限公司、华陆工程科技有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川晨光工程设计院有限公司
起草人：李斌、兰云、杨武明、罗周、王世棋、郑东昊、程长进、韩洪流、王路、李超、朱文刚、刘继三、贾敏、程渝峰、严大洲、陈宏愿