T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/QGCML 3970-2024
标准名：半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
团体名称：全国城市工业品贸易中心联合会
包含专利：否
国际标准分类号：35.240.01 信息技术应用综合
行业分类：I653 信息系统集成和物联网技术服务
标准层级：团体标准
主要技术内容：本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。
起草单位：凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司
起草人：张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋