T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/GVS 006-2022
标准名：半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
标准英文名：Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply
团体名称：广东省真空学会
包含专利：否
中国标准分类号：K 80
国际标准分类号：19.080
行业分类：M745 质检技术服务
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。 本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
主要技术内容：本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
起草单位：季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学
起草人：胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球