T/CSTM 00537-2021 微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CSTM 00537-2021
标准名：微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法
标准英文名：Phase transition temperature measurement of micro-nano thin film -Optical power analysis
团体名称：中关村材料试验技术联盟
包含专利：是
中国标准分类号：L 55
国际标准分类号：31.200
行业分类：M745 质检技术服务
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。 本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
主要技术内容：本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
起草单位：华中科技大学、中国计量科学研究院、武汉嘉仪通科技有限公司、深圳中国计量科学研究院技术创新研究院、暨南大学、中国计量大学、成都理工大学、广西大学
起草人：缪向水、任玲玲、童浩、李硕、王愿兵、蔡自彪、金森林、乐松、王建峰、张景基、李小平、龙剑平、陶小马、余志高