GB/T 43894.2-2026 半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分:边缘卷曲法(ROA)

Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 2: Roll-off amount(ROA)

资源信息

标准号 GB/T 43894.2-2026 标准状态 即将实施
发布日期 2026-01-28 实施日期 2026-08-01
发布单位 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:即将实施
标准号:GB/T 43894.2-2026
标准名:半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分:边缘卷曲法(ROA)
标准英文名:Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 2: Roll-off amount(ROA)
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:77.040
标准层级:GBT推荐性国家标准

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