GB/T 43894.2-2026 半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分:边缘卷曲法(ROA)
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 2: Roll-off amount(ROA)
资源信息
| 标准号 | GB/T 43894.2-2026 | 标准状态 | 即将实施 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2026-01-28 | 实施日期 | 2026-08-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态:即将实施标准号:GB/T 43894.2-2026标准名:半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分:边缘卷曲法(ROA)标准英文名:Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 2: Roll-off amount(ROA)批准发布部门:国家标准委中国标准分类号:H21国际标准分类号:77.040标准层级:GBT推荐性国家标准
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