GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
资源信息
| 标准号 | GB/T 43748-2024 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2024-03-15 | 实施日期 | 2024-10-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 43748-2024标准名：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法标准英文名：Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：N33国际标准分类号：71.040.40标准层级：GBT推荐性国家标准
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