GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
资源信息
| 标准号 | GB/T 37959-2019 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2019-08-30 | 实施日期 | 2020-03-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 中国机械工业联合会 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 37959-2019标准名：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型标准英文名：Information model for containing process chamber IC equipment design批准发布部门：中国机械工业联合会中国标准分类号：J07国际标准分类号：35.240.50标准层级：GBT推荐性国家标准
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