T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/SICA 001-2020
标准名：钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
标准英文名：Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry
团体名称：上海市集成电路行业协会
包含专利：否
中国标准分类号：Z00
国际标准分类号：13.030.99 有关废物的其他标准
行业分类：N772 环境治理业
标准层级：团体标准
主要技术内容：本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时，采用集成电路制造行业废硫酸的要求，主要技术指标为 ，硫酸（H2SO4）≥60W/ %；过氧化氢（H2O2）≤0.5W/ %；铁（Fe）≤0.002W/ %；透明度≥100/mm；色度，深于标准色度；灰分≤0.01 W/ %；砷（As）≤　0.001W/ %；铅（Pb）≤0.02 W/ %。
起草单位：上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
起草人：徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆