GB/T 47725-2026 微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
资源信息
| 标准号 | GB/T 47725-2026 | 标准状态 | 即将实施 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2026-05-25 | 实施日期 | 2026-12-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：即将实施标准号：GB/T 47725-2026标准名：微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求标准英文名：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200标准层级：GBT推荐性国家标准
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