GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
资源信息
| 标准号 | GB/T 38447-2020 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2020-03-06 | 实施日期 | 2020-07-01 |
| 发布单位 | |||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 38447-2020标准名：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法标准英文名：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200标准层级：GBT推荐性国家标准
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