GB/T 47562-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—MEMS silicon piezoresistive pressure and temperature composite pressure sensor chip

资源信息

标准号 GB/T 47562-2026 标准状态 即将实施
发布日期 2026-04-30 实施日期 2026-08-01
发布单位 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：即将实施
标准号：GB/T 47562-2026
标准名：微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片
标准英文名：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—MEMS silicon piezoresistive pressure and temperature composite pressure sensor chip
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：L59
国际标准分类号：31.080.99
标准层级：GBT推荐性国家标准

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