GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
资源信息
| 标准号 | GB/T 42897-2023 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2023-08-06 | 实施日期 | 2023-12-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 42897-2023标准名：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法标准英文名：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.200标准层级：GBT推荐性国家标准
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