GB/T 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃
Titania doped silica glass for lithography
资源信息
| 标准号 | GB/T 45826-2025 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2025-05-30 | 实施日期 | 2025-12-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 中国建筑材料联合会 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 45826-2025标准名：光刻用掺钛石英玻璃标准英文名：Titania doped silica glass for lithography批准发布部门：中国建筑材料联合会中国标准分类号：Q35国际标准分类号：81.040.30标准层级：GBT推荐性国家标准
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