GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

Quartz glass wafer for lithography

资源信息

标准号 GB/T 34177-2017 标准状态 现行
发布日期 2017-09-07 实施日期 2018-08-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 中国建筑材料联合会

标准状态:现行
标准号:GB/T 34177-2017
标准名:光刻用石英玻璃晶圆
标准英文名:Quartz glass wafer for lithography
批准发布部门:中国建筑材料联合会
中国标准分类号:Q35
国际标准分类号:81.040.30
标准层级:GBT推荐性国家标准

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