GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method

资源信息

标准号 GB/T 42902-2023 标准状态 现行
发布日期 2023-08-06 实施日期 2024-03-01
发布单位 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 42902-2023
标准名：碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
标准英文名：Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
标准层级：GBT推荐性国家标准

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