GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

资源信息

标准号 GB/T 32281-2015 标准状态 现行
发布日期 2015-12-10 实施日期 2017-01-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 32281-2015
标准名:太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
标准英文名:Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:H17
国际标准分类号:77.040.30
标准层级:GBT推荐性国家标准

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