GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
资源信息
| 标准号 | GB/T 32189-2015 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2015-12-10 | 实施日期 | 2016-11-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 32189-2015标准名：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法标准英文名：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040标准层级：GBT推荐性国家标准
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