GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

资源信息

标准号 GB/T 25755-2010 标准状态 现行
发布日期 2010-12-23 实施日期 2011-10-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 中国机械工业联合会

标准状态:现行
标准号:GB/T 25755-2010
标准名:真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
标准英文名:Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
批准发布部门:中国机械工业联合会
中国标准分类号:J78
国际标准分类号:23.160
标准层级:GBT推荐性国家标准

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