GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
General specification of ion implantation equipment
资源信息
| 标准号 | GB/T 15862-2012 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2012-11-05 | 实施日期 | 2013-02-15 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 工业和信息化部(电子) | ||
标准状态:现行标准号:GB/T 15862-2012标准名:离子注入机通用规范标准英文名:General specification of ion implantation equipment批准发布部门:工业和信息化部(电子)中国标准分类号:L97标准层级:GBT推荐性国家标准
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