GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范

General specification of ion implantation equipment

资源信息

标准号 GB/T 15862-2012 标准状态 现行
发布日期 2012-11-05 实施日期 2013-02-15
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 工业和信息化部(电子)

标准状态:现行
标准号:GB/T 15862-2012
标准名:离子注入机通用规范
标准英文名:General specification of ion implantation equipment
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
中国标准分类号:L97
标准层级:GBT推荐性国家标准

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