GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

资源信息

标准号 GB/T 21287-2021 标准状态 现行
发布日期 2021-10-11 实施日期 2022-05-01
发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 21287-2021
标准名:电子特气 三氟化氮
标准英文名:Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:G86
国际标准分类号:71.100.20
标准层级:GBT推荐性国家标准

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