T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/ZZB 1373-2019
标准名：7N 光电子级超纯氨
标准英文名：7N photoelectric class hyperpure ammonia
团体名称：浙江省品牌建设联合会
包含专利：否
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20 工业气体
行业分类：C261 基础化学原料制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式： NH3。相对分子质量： 17.031（按 2016 年国际相对原子量）。
起草单位：海宁市英德赛电子有限公司、浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司
起草人：陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）