T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/GVS 010-2022
标准名：真空卷绕镀膜设备通用技术要求
标准英文名：Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant
团体名称：广东省真空学会
包含专利：否
中国标准分类号：J 78
国际标准分类号：23.160
行业分类：C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。
主要技术内容：本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。
起草单位：广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
起草人：朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高