T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/GVS 007-2022
标准名：射频电源动态阻抗测试方法
标准英文名：Test method for dynamic impedance of RF generator
团体名称：广东省真空学会
包含专利：否
中国标准分类号：K 80
国际标准分类号：19.080
行业分类：M745 质检技术服务
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。 本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
主要技术内容：本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
起草单位：深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司
起草人：乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞