T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CSTM 00313-2021
标准名：基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
标准英文名：Testing method of optical constants for0ptical thin films based on spectro-photo-metric method
团体名称：中关村材料试验技术联盟
包含专利：否
中国标准分类号：N 35
国际标准分类号：17.180.01 光学和光学测量综合
行业分类：C305 玻璃制品制造
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。 本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。
主要技术内容：本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。
起草单位：西南技术物理研究所，中国科学院上海光学精密机械研究所
起草人：马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安