T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件

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标准状态：现行
标准号：T/CSEA 26-2023
标准名：电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
标准英文名：Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition
团体名称：中国表面工程协会
包含专利：否
国际标准分类号：25.220.01 表面处理和镀涂综合
行业分类：C336 金属表面处理及热处理加工
标准层级：团体标准
适用范围:本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
主要技术内容：本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
起草单位：北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学
起草人：何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽