T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CPIA 0065-2024
标准名：异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
团体名称：中国光伏行业协会
包含专利：否
国际标准分类号：27.160
行业分类：C382 输配电及控制设备制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
起草单位：中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司
起草人：王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪