T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CI 334-2024
标准名：半导体设备隔振系统设计及技术要求
标准英文名：Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments
团体名称：中国国际科技促进会
包含专利：否
中国标准分类号：L56
国际标准分类号：39.020
行业分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
起草单位：上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司
起草人：陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀