T/CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CCGA 30003-2019
标准名：超纯三氟化氮
标准英文名：Ultra pure nitrogen trifluoride
团体名称：中国工业气体工业协会
包含专利：否
国际标准分类号：71.100.20 工业气体
行业分类：C266 专用化学产品制造
标准层级：团体标准
主要技术内容：本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会
起草人：郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳