T/CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/CASME 1953-2025
标准名：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
标准英文名：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
团体名称：中国中小商业企业协会
包含专利：否
中国标准分类号：G 43
国际标准分类号：83.140.50 密封件
行业分类：C291 橡胶制品业
标准层级：团体标准
适用范围:本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
主要技术内容：本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲