T/BSPT 002-2018 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法

资源信息

标准状态：现行
标准号：T/BSPT 002-2018
标准名：微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
标准英文名：Micro/nano fabrication The fabrication of 3D nanostructures formed by strain via ion beam irradiation
团体名称：北京粉体技术协会
包含专利：是
国际标准分类号：19.020
行业分类：M731 自然科学研究和试验发展
标准层级：团体标准
适用范围:本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。 本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。
主要技术内容：离子束辐照技术可使准直的纳米线或平面的纳米薄膜由于应变而在三维空间产生弯曲或折叠，在构建高性能的三维微纳电子器件、光电器件和光学元件等领域具有重要应用价值。本标准提供一种利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法的规范。本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及到准直纳米线或平面纳米薄膜形变操控[7.2和7.3条]具体内容与专利号为ZL201110113222.0 [一种制备三维超导微纳器件的方法]和专利号为ZL201210540870.9[基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法]内容相关的专利的使用。
起草单位：中国科学院物理研究所
起草人：顾长志、刘哲、李无瑕、杨海方、李俊杰