GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
资源信息
| 标准号 | GB/T 6618-2009 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2009-10-30 | 实施日期 | 2010-06-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 6618-2009标准名：硅片厚度和总厚度变化测试方法标准英文名：Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045标准层级：GBT推荐性国家标准
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