GB/T 44928-2024 微电子学微光刻技术术语

Terms of microlithography technology for microelectronics

资源信息

标准号 GB/T 44928-2024 标准状态 现行
发布日期 2024-12-31 实施日期 2024-12-31
发布单位 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 44928-2024
标准名:微电子学微光刻技术术语
标准英文名:Terms of microlithography technology for microelectronics
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:L90
国际标准分类号:31.030
标准层级:GBT推荐性国家标准

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