GB/T 44375-2024 300mm半导体设备装载端口要求
Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment
资源信息
| 标准号 | GB/T 44375-2024 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2024-08-23 | 实施日期 | 2025-03-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 44375-2024标准名：300mm半导体设备装载端口要求标准英文名：Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.260标准层级：GBT推荐性国家标准
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