GB/T 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法
Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
资源信息
| 标准号 | GB/T 43313-2023 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2023-11-27 | 实施日期 | 2024-06-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 43313-2023标准名：碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法标准英文名：Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040标准层级：GBT推荐性国家标准
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