GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

资源信息

标准号 GB/T 42896-2023 标准状态 现行
发布日期 2023-08-06 实施日期 2023-12-01
发布单位 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 42896-2023
标准名：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
标准英文名：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：L59
国际标准分类号：31.200
标准层级：GBT推荐性国家标准

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