GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

资源信息

标准号 GB/T 42263-2022 标准状态 现行
发布日期 2022-12-30 实施日期 2023-04-01
发布单位 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 42263-2022
标准名：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
标准英文名：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040
标准层级：GBT推荐性国家标准

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